電子束光刻技術中SiN膜是什么膜用中文怎么說2，無掩膜光刻什么是無掩膜光刻3，電子束光刻什么是電子束光刻4，電子束光刻膠HSQ能用X射線輻照嗎5，哪里能做電子束光刻6，電子束光刻技術原理方法優缺點急求查閱了資料還是覺得1，電子束光刻技術中SiN膜是什么膜用中文怎么說保護不明白啊==！2，無掩膜光刻什么是無掩膜光刻無掩膜光刻是一類不采用光刻掩膜版的光刻技術，即采用電子束直接在硅片上制作出需要的圖形。無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數據，除此之外，無掩膜光刻機還可以讀取Bitmap,PNG,DXF,GDSⅡ...

對于補充問題：首先來說cmos工藝中出現這個光刻柵長也是對應于cmos制作中在光刻步驟中由于無論是用電子束光刻，還是深紫外光刻，都會發生衍射的問題演化出來的,光刻柵長，無論是用電子束光刻，還是深紫外光刻，都會發生衍射，相當于光柵實際長度根物理長度不等光蝕刻的尺度為什么與光的波長相關而不是與光的振幅相關。1、光刻膠的作用光刻膠的作用光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。印刷工業是光刻膠應用的另一重要領域。1954年由...