光刻技術成為精密微加工技術1822年，法國人Nicephorenipce發明了光刻機器,高速nano光刻技術雙面光刻/干擾光刻/軟-1,集成電路光學光刻技術是量子隧穿,光刻技術指技術掩膜版上的圖案在光照的作用下，借助光刻膠(又稱光刻glue)轉移到襯底上,光刻技術成為精密微加工技術是。{0}1、光刻技術的簡述光刻技術指技術掩膜版上的圖案在光照的作用下，借助光刻膠(又稱光刻glue)轉移到襯底上。主要過程如下:首先用紫外光通過掩膜照射在一層光刻膠粘膜的基板表面，使曝光區域發生光刻膠的化學反應；然后通過顯影技...